羅茨泵運(yùn)行穩(wěn)定可靠效率高
羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,因此高、中真空泵需要前級(jí)泵。它依靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣。羅茨泵的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。
羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。
羅茨泵因其*效、穩(wěn)定、可靠的特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)中,如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空干燥、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。同時(shí),羅茨泵也廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)中。